Цитата:

имел самые близкие отношения с сорбционными насосами. Вам такое название известно?

Есть два вида - цеолитовые и геттерные, с какими именно?

Впрочем, не суть важно - низкий, высокий, сверхвысокий вакуум это специальные термины, так же как сильноточная электроника. Низкий вакуум это то что имеем с помощью форвакуумного насоса способного работать с атмосферным давлением на выхлопе. Высоковакуумные насосы этого не могут, им нужен хотя бы низкий вакуум со стороны выхлопа. Ну и так далее. Сверхвысокий вакуум нельзя получить просто с помощью откачки газа любым насосом - нужна высокотемпературная дегазация всей вакуумной системы.